Standard

Применение комбинационного рассеяния света для анализа нанокластеров аморфного кремния в плёнках нестехиометрического нитрида кремния, применяющихся в элементах флэш-памяти и в матрицах резистивной памяти. / Володин, Владимир Алексеевич; Гриценко, Владимир Алексеевич; Камаев, Геннадий Николаевич et al.

Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам спектроскопии комбинационного рассеяния света. 2023. p. 64.

Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Research › peer-review

Harvard

Володин, ВА, Гриценко, ВА, Камаев, ГН, Черкова, СГ, Азаров, ИА, Новиков, ЮН, Гисматулин, АА & Просвирин, ИП 2023, Применение комбинационного рассеяния света для анализа нанокластеров аморфного кремния в плёнках нестехиометрического нитрида кремния, применяющихся в элементах флэш-памяти и в матрицах резистивной памяти. in Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам спектроскопии комбинационного рассеяния света. pp. 64.

APA

Володин, В. А., Гриценко, В. А., Камаев, Г. Н., Черкова, С. Г., Азаров, И. А., Новиков, Ю. Н., Гисматулин, А. А., & Просвирин, И. П. (2023). Применение комбинационного рассеяния света для анализа нанокластеров аморфного кремния в плёнках нестехиометрического нитрида кремния, применяющихся в элементах флэш-памяти и в матрицах резистивной памяти. In Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам спектроскопии комбинационного рассеяния света (pp. 64)

Vancouver

Володин ВА, Гриценко ВА, Камаев ГН, Черкова СГ, Азаров ИА, Новиков ЮН et al. Применение комбинационного рассеяния света для анализа нанокластеров аморфного кремния в плёнках нестехиометрического нитрида кремния, применяющихся в элементах флэш-памяти и в матрицах резистивной памяти. In Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам спектроскопии комбинационного рассеяния света. 2023. p. 64

Author

Володин, Владимир Алексеевич ; Гриценко, Владимир Алексеевич ; Камаев, Геннадий Николаевич et al. / Применение комбинационного рассеяния света для анализа нанокластеров аморфного кремния в плёнках нестехиометрического нитрида кремния, применяющихся в элементах флэш-памяти и в матрицах резистивной памяти. Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам спектроскопии комбинационного рассеяния света. 2023. pp. 64

BibTeX

@inproceedings{8fe8d86842614a778705b83532893d35,
title = "Применение комбинационного рассеяния света для анализа нанокластеров аморфного кремния в плёнках нестехиометрического нитрида кремния, применяющихся в элементах флэш-памяти и в матрицах резистивной памяти",
author = "Володин, {Владимир Алексеевич} and Гриценко, {Владимир Алексеевич} and Камаев, {Геннадий Николаевич} and Черкова, {Светалана Глебовна} and Азаров, {Иван Алексеевич} and Ю.Н. Новиков and Гисматулин, {Андрей Андреевич} and Просвирин, {Игорь Петрович}",
year = "2023",
language = "русский",
pages = "64",
booktitle = "Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам спектроскопии комбинационного рассеяния света",

}

RIS

TY - GEN

T1 - Применение комбинационного рассеяния света для анализа нанокластеров аморфного кремния в плёнках нестехиометрического нитрида кремния, применяющихся в элементах флэш-памяти и в матрицах резистивной памяти

AU - Володин, Владимир Алексеевич

AU - Гриценко, Владимир Алексеевич

AU - Камаев, Геннадий Николаевич

AU - Черкова, Светалана Глебовна

AU - Азаров, Иван Алексеевич

AU - Новиков, Ю.Н.

AU - Гисматулин, Андрей Андреевич

AU - Просвирин, Игорь Петрович

PY - 2023

Y1 - 2023

M3 - статья в сборнике материалов конференции

SP - 64

BT - Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам спектроскопии комбинационного рассеяния света

ER -

ID: 59544835