Standard

Применение комбинационного рассеяния света для анализа нанокластеров аморфного кремния в плёнках нестехиометрического нитрида кремния, применяющихся в элементах флэш-памяти и в матрицах резистивной памяти. / Володин, Владимир Алексеевич; Гриценко, Владимир Алексеевич; Камаев, Геннадий Николаевич et al.

Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам спектроскопии комбинационного рассеяния света. Москва : Издательство "Перо", 2023. p. 64.

Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Research › peer-review

Harvard

Володин, ВА, Гриценко, ВА, Камаев, ГН, Черкова, СГ, Азаров, ИА, Новиков, ЮН, Гисматулин, АА & Просвирин, ИП 2023, Применение комбинационного рассеяния света для анализа нанокластеров аморфного кремния в плёнках нестехиометрического нитрида кремния, применяющихся в элементах флэш-памяти и в матрицах резистивной памяти. in Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам спектроскопии комбинационного рассеяния света. Издательство "Перо", Москва, pp. 64, Комбинационное Рассеяние - 95 лет исследований, Новосибирск, Russian Federation, 05.06.2023.

APA

Володин, В. А., Гриценко, В. А., Камаев, Г. Н., Черкова, С. Г., Азаров, И. А., Новиков, Ю. Н., Гисматулин, А. А., & Просвирин, И. П. (2023). Применение комбинационного рассеяния света для анализа нанокластеров аморфного кремния в плёнках нестехиометрического нитрида кремния, применяющихся в элементах флэш-памяти и в матрицах резистивной памяти. In Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам спектроскопии комбинационного рассеяния света (pp. 64). Издательство "Перо".

Vancouver

Володин ВА, Гриценко ВА, Камаев ГН, Черкова СГ, Азаров ИА, Новиков ЮН et al. Применение комбинационного рассеяния света для анализа нанокластеров аморфного кремния в плёнках нестехиометрического нитрида кремния, применяющихся в элементах флэш-памяти и в матрицах резистивной памяти. In Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам спектроскопии комбинационного рассеяния света. Москва: Издательство "Перо". 2023. p. 64

Author

Володин, Владимир Алексеевич ; Гриценко, Владимир Алексеевич ; Камаев, Геннадий Николаевич et al. / Применение комбинационного рассеяния света для анализа нанокластеров аморфного кремния в плёнках нестехиометрического нитрида кремния, применяющихся в элементах флэш-памяти и в матрицах резистивной памяти. Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам спектроскопии комбинационного рассеяния света. Москва : Издательство "Перо", 2023. pp. 64

BibTeX

@inproceedings{8fe8d86842614a778705b83532893d35,
title = "Применение комбинационного рассеяния света для анализа нанокластеров аморфного кремния в плёнках нестехиометрического нитрида кремния, применяющихся в элементах флэш-памяти и в матрицах резистивной памяти",
author = "Володин, {Владимир Алексеевич} and Гриценко, {Владимир Алексеевич} and Камаев, {Геннадий Николаевич} and Черкова, {Светалана Глебовна} and Азаров, {Иван Алексеевич} and Новиков, {Юрий Николаевич} and Гисматулин, {Андрей Андреевич} and Просвирин, {Игорь Петрович}",
note = "Применение комбинационного рассеяния света для анализа нанокластеров аморфного кремния в плёнках нестехиометрического нитрида кремния, применяющихся в элементах флэш-памяти и в матрицах резистивной памяти / В. А. Володин, В. А. Гриценко, Г. Н. Камаев [и др.] // Комбинационное рассеяние - 95 лет исследований : Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам спектроскопии комбинационного рассеяния света, Новосибирск, 05–09 июня 2023 года. – Москва: Издательство {"}Перо{"}, 2023. – С. 64. – DOI 10.34077/SCATTERING95-64. ; Комбинационное Рассеяние - 95 лет исследований, КР-95 ; Conference date: 05-06-2023 Through 09-06-2023",
year = "2023",
language = "русский",
isbn = "978-5-00218-299-2",
pages = "64",
booktitle = "Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам спектроскопии комбинационного рассеяния света",
publisher = "Издательство {"}Перо{"}",
address = "Российская Федерация",
url = "https://www.isp.nsc.ru/scattering95/index.php?ACTION=part&id_part=3",

}

RIS

TY - GEN

T1 - Применение комбинационного рассеяния света для анализа нанокластеров аморфного кремния в плёнках нестехиометрического нитрида кремния, применяющихся в элементах флэш-памяти и в матрицах резистивной памяти

AU - Володин, Владимир Алексеевич

AU - Гриценко, Владимир Алексеевич

AU - Камаев, Геннадий Николаевич

AU - Черкова, Светалана Глебовна

AU - Азаров, Иван Алексеевич

AU - Новиков, Юрий Николаевич

AU - Гисматулин, Андрей Андреевич

AU - Просвирин, Игорь Петрович

N1 - Применение комбинационного рассеяния света для анализа нанокластеров аморфного кремния в плёнках нестехиометрического нитрида кремния, применяющихся в элементах флэш-памяти и в матрицах резистивной памяти / В. А. Володин, В. А. Гриценко, Г. Н. Камаев [и др.] // Комбинационное рассеяние - 95 лет исследований : Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам спектроскопии комбинационного рассеяния света, Новосибирск, 05–09 июня 2023 года. – Москва: Издательство "Перо", 2023. – С. 64. – DOI 10.34077/SCATTERING95-64.

PY - 2023

Y1 - 2023

UR - https://www.elibrary.ru/item.asp?id=54155622&pff=1

M3 - статья в сборнике материалов конференции

SN - 978-5-00218-299-2

SP - 64

BT - Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам спектроскопии комбинационного рассеяния света

PB - Издательство "Перо"

CY - Москва

T2 - Комбинационное Рассеяние - 95 лет исследований

Y2 - 5 June 2023 through 9 June 2023

ER -

ID: 59544835