Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › Рецензирование
Применение комбинационного рассеяния света для анализа нанокластеров аморфного кремния в плёнках нестехиометрического нитрида кремния, применяющихся в элементах флэш-памяти и в матрицах резистивной памяти. / Володин, Владимир Алексеевич; Гриценко, Владимир Алексеевич; Камаев, Геннадий Николаевич и др.
Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам спектроскопии комбинационного рассеяния света. Москва : Издательство "Перо", 2023. стр. 64.Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › Рецензирование
}
TY - GEN
T1 - Применение комбинационного рассеяния света для анализа нанокластеров аморфного кремния в плёнках нестехиометрического нитрида кремния, применяющихся в элементах флэш-памяти и в матрицах резистивной памяти
AU - Володин, Владимир Алексеевич
AU - Гриценко, Владимир Алексеевич
AU - Камаев, Геннадий Николаевич
AU - Черкова, Светалана Глебовна
AU - Азаров, Иван Алексеевич
AU - Новиков, Юрий Николаевич
AU - Гисматулин, Андрей Андреевич
AU - Просвирин, Игорь Петрович
N1 - Применение комбинационного рассеяния света для анализа нанокластеров аморфного кремния в плёнках нестехиометрического нитрида кремния, применяющихся в элементах флэш-памяти и в матрицах резистивной памяти / В. А. Володин, В. А. Гриценко, Г. Н. Камаев [и др.] // Комбинационное рассеяние - 95 лет исследований : Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам спектроскопии комбинационного рассеяния света, Новосибирск, 05–09 июня 2023 года. – Москва: Издательство "Перо", 2023. – С. 64. – DOI 10.34077/SCATTERING95-64.
PY - 2023
Y1 - 2023
UR - https://www.elibrary.ru/item.asp?id=54155622&pff=1
M3 - статья в сборнике материалов конференции
SN - 978-5-00218-299-2
SP - 64
BT - Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам спектроскопии комбинационного рассеяния света
PB - Издательство "Перо"
CY - Москва
T2 - Комбинационное Рассеяние - 95 лет исследований
Y2 - 5 June 2023 through 9 June 2023
ER -
ID: 59544835