Standard

Финишная обработка поверхности монокристаллов титанил-фосфата калия кластерными ионами аргона. / Коробейщиков, Николай Геннадьевич; Николаев, Иван Владимирович; Роенко, Максим Анатольевич.

In: Письма в Журнал технической физики, Vol. 45, No. 6, 2019, p. 30-32.

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

Harvard

Коробейщиков, НГ, Николаев, ИВ & Роенко, МА 2019, 'Финишная обработка поверхности монокристаллов титанил-фосфата калия кластерными ионами аргона', Письма в Журнал технической физики, vol. 45, no. 6, pp. 30-32. https://doi.org/10.21883/PJTF.2019.06.47496.17646

APA

Коробейщиков, Н. Г., Николаев, И. В., & Роенко, М. А. (2019). Финишная обработка поверхности монокристаллов титанил-фосфата калия кластерными ионами аргона. Письма в Журнал технической физики, 45(6), 30-32. https://doi.org/10.21883/PJTF.2019.06.47496.17646

Vancouver

Коробейщиков НГ, Николаев ИВ, Роенко МА. Финишная обработка поверхности монокристаллов титанил-фосфата калия кластерными ионами аргона. Письма в Журнал технической физики. 2019;45(6):30-32. doi: 10.21883/PJTF.2019.06.47496.17646

Author

Коробейщиков, Николай Геннадьевич ; Николаев, Иван Владимирович ; Роенко, Максим Анатольевич. / Финишная обработка поверхности монокристаллов титанил-фосфата калия кластерными ионами аргона. In: Письма в Журнал технической физики. 2019 ; Vol. 45, No. 6. pp. 30-32.

BibTeX

@article{df5fd8ef97064dcc832b55c6c521b5ec,
title = "Финишная обработка поверхности монокристаллов титанил-фосфата калия кластерными ионами аргона",
abstract = "Продемонстрирована возможность использования пучка кластерных ионов аргона для финишной обработки сверхгладких поверхностей (начальная шероховатость менее 0.3 nm) монокристаллов титанил-фосфата калия. С использованием функции спектральной плотности мощности шероховатости поверхности показано, что воздействие кластерных ионов приводит к удалению остаточных химических загрязнений в приповерхностном слое и дополнительному сглаживанию поверхности в широком диапазоне пространственных частот шероховатости (ν = 0.2-100 μm-1)",
author = "Коробейщиков, {Николай Геннадьевич} and Николаев, {Иван Владимирович} and Роенко, {Максим Анатольевич}",
note = "Коробейщиков Н.Г., Николаев И.В., Роенко М.А. Финишная обработка поверхности монокристаллов титанил-фосфата калия кластерными ионами аргона // Письма в Журнал технической физики. - 2019. - Т. 45. - № 6. - С. 30-32",
year = "2019",
doi = "10.21883/PJTF.2019.06.47496.17646",
language = "русский",
volume = "45",
pages = "30--32",
journal = "Письма в Журнал технической физики",
issn = "0320-0116",
publisher = "Общество с ограниченной ответственностью Международная академическая издательская компания {"}Наука/Интерпериодика{"}",
number = "6",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - Финишная обработка поверхности монокристаллов титанил-фосфата калия кластерными ионами аргона

AU - Коробейщиков, Николай Геннадьевич

AU - Николаев, Иван Владимирович

AU - Роенко, Максим Анатольевич

N1 - Коробейщиков Н.Г., Николаев И.В., Роенко М.А. Финишная обработка поверхности монокристаллов титанил-фосфата калия кластерными ионами аргона // Письма в Журнал технической физики. - 2019. - Т. 45. - № 6. - С. 30-32

PY - 2019

Y1 - 2019

N2 - Продемонстрирована возможность использования пучка кластерных ионов аргона для финишной обработки сверхгладких поверхностей (начальная шероховатость менее 0.3 nm) монокристаллов титанил-фосфата калия. С использованием функции спектральной плотности мощности шероховатости поверхности показано, что воздействие кластерных ионов приводит к удалению остаточных химических загрязнений в приповерхностном слое и дополнительному сглаживанию поверхности в широком диапазоне пространственных частот шероховатости (ν = 0.2-100 μm-1)

AB - Продемонстрирована возможность использования пучка кластерных ионов аргона для финишной обработки сверхгладких поверхностей (начальная шероховатость менее 0.3 nm) монокристаллов титанил-фосфата калия. С использованием функции спектральной плотности мощности шероховатости поверхности показано, что воздействие кластерных ионов приводит к удалению остаточных химических загрязнений в приповерхностном слое и дополнительному сглаживанию поверхности в широком диапазоне пространственных частот шероховатости (ν = 0.2-100 μm-1)

UR - https://www.elibrary.ru/item.asp?id=37481366

U2 - 10.21883/PJTF.2019.06.47496.17646

DO - 10.21883/PJTF.2019.06.47496.17646

M3 - статья

VL - 45

SP - 30

EP - 32

JO - Письма в Журнал технической физики

JF - Письма в Журнал технической физики

SN - 0320-0116

IS - 6

ER -

ID: 22870604