Финишная обработка поверхности монокристаллов титанил-фосфата калия кластерными ионами аргона

Standard

Финишная обработка поверхности монокристаллов титанил-фосфата калия кластерными ионами аргона. / Коробейщиков, Николай Геннадьевич ; Николаев, Иван Владимирович ; Роенко, Максим Анатольевич.

в: Письма в Журнал технической физики, Том 45, № 6, 2019, стр. 30-32.

Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

BibTeX

@article{df5fd8ef97064dcc832b55c6c521b5ec,

title = "Финишная обработка поверхности монокристаллов титанил-фосфата калия кластерными ионами аргона",

abstract = "Продемонстрирована возможность использования пучка кластерных ионов аргона для финишной обработки сверхгладких поверхностей (начальная шероховатость менее 0.3 nm) монокристаллов титанил-фосфата калия. С использованием функции спектральной плотности мощности шероховатости поверхности показано, что воздействие кластерных ионов приводит к удалению остаточных химических загрязнений в приповерхностном слое и дополнительному сглаживанию поверхности в широком диапазоне пространственных частот шероховатости (ν = 0.2-100 μm-1)",

author = "Коробейщиков, {Николай Геннадьевич} and Николаев, {Иван Владимирович} and Роенко, {Максим Анатольевич}",

note = "Коробейщиков Н.Г., Николаев И.В., Роенко М.А. Финишная обработка поверхности монокристаллов титанил-фосфата калия кластерными ионами аргона // Письма в Журнал технической физики. - 2019. - Т. 45. - № 6. - С. 30-32",

year = "2019",

doi = "10.21883/PJTF.2019.06.47496.17646",

language = "русский",

volume = "45",

pages = "30--32",

journal = "Письма в Журнал технической физики",

issn = "0320-0116",

publisher = "Общество с ограниченной ответственностью Международная академическая издательская компания {"}Наука/Интерпериодика{"}",

number = "6",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - Финишная обработка поверхности монокристаллов титанил-фосфата калия кластерными ионами аргона

AU - Коробейщиков, Николай Геннадьевич

AU - Николаев, Иван Владимирович

AU - Роенко, Максим Анатольевич

N1 - Коробейщиков Н.Г., Николаев И.В., Роенко М.А. Финишная обработка поверхности монокристаллов титанил-фосфата калия кластерными ионами аргона // Письма в Журнал технической физики. - 2019. - Т. 45. - № 6. - С. 30-32

PY - 2019

Y1 - 2019

N2 - Продемонстрирована возможность использования пучка кластерных ионов аргона для финишной обработки сверхгладких поверхностей (начальная шероховатость менее 0.3 nm) монокристаллов титанил-фосфата калия. С использованием функции спектральной плотности мощности шероховатости поверхности показано, что воздействие кластерных ионов приводит к удалению остаточных химических загрязнений в приповерхностном слое и дополнительному сглаживанию поверхности в широком диапазоне пространственных частот шероховатости (ν = 0.2-100 μm-1)

AB - Продемонстрирована возможность использования пучка кластерных ионов аргона для финишной обработки сверхгладких поверхностей (начальная шероховатость менее 0.3 nm) монокристаллов титанил-фосфата калия. С использованием функции спектральной плотности мощности шероховатости поверхности показано, что воздействие кластерных ионов приводит к удалению остаточных химических загрязнений в приповерхностном слое и дополнительному сглаживанию поверхности в широком диапазоне пространственных частот шероховатости (ν = 0.2-100 μm-1)

UR - https://www.elibrary.ru/item.asp?id=37481366

U2 - 10.21883/PJTF.2019.06.47496.17646

DO - 10.21883/PJTF.2019.06.47496.17646

M3 - статья

VL - 45

SP - 30

EP - 32

JO - Письма в Журнал технической физики

JF - Письма в Журнал технической физики

SN - 0320-0116

IS - 6

ER -

ID: 22870604