Standard

Ионно-кластерная полировка поверхности материалов до субнанометрового уровня шероховатости. / Николаев, Иван Владимирович; Коробейщиков, Николай Геннадьевич; Роенко, Максим Анатольевич.

In: Вакуумная техника и технология, Vol. 28, No. 1, 7, 2018, p. 71-75.

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

Harvard

Николаев, ИВ, Коробейщиков, НГ & Роенко, МА 2018, 'Ионно-кластерная полировка поверхности материалов до субнанометрового уровня шероховатости', Вакуумная техника и технология, vol. 28, no. 1, 7, pp. 71-75. <http://vtt.vacuum.ru/cgi-bin/zurnal/go.cgi?rnd=6911010&file=2018-28-1-6911010.pdf>

APA

Николаев, И. В., Коробейщиков, Н. Г., & Роенко, М. А. (2018). Ионно-кластерная полировка поверхности материалов до субнанометрового уровня шероховатости. Вакуумная техника и технология, 28(1), 71-75. [7]. http://vtt.vacuum.ru/cgi-bin/zurnal/go.cgi?rnd=6911010&file=2018-28-1-6911010.pdf

Vancouver

Николаев ИВ, Коробейщиков НГ, Роенко МА. Ионно-кластерная полировка поверхности материалов до субнанометрового уровня шероховатости. Вакуумная техника и технология. 2018;28(1):71-75. 7.

Author

Николаев, Иван Владимирович ; Коробейщиков, Николай Геннадьевич ; Роенко, Максим Анатольевич. / Ионно-кластерная полировка поверхности материалов до субнанометрового уровня шероховатости. In: Вакуумная техника и технология. 2018 ; Vol. 28, No. 1. pp. 71-75.

BibTeX

@article{a26db6d149d24d1683135cccd981a448,
title = "Ионно-кластерная полировка поверхности материалов до субнанометрового уровня шероховатости",
abstract = "Проведено исследование влияния ускоренного ионно-кластерного пучка аргона на морфологию поверхностей оптического стекла и нержавеющей стали. Изучены зависимости спектральной плотности мощности шероховатости от пространственной частоты и среднеквадратичной шероховатости от дозы облучения. Среднеквадратичная шероховатость нержавеющей стали уменьшается в 5,5 раза, а оптического стекла – в 4,5 раза. Показана возможность получения материалов с субнанометровой шероховатостью поверхности. Дальнейшее понижение шероховатости нержавеющей стали ограничивается микрогранульной анизотропной структурой обрабатываемого материала.",
author = "Николаев, {Иван Владимирович} and Коробейщиков, {Николай Геннадьевич} and Роенко, {Максим Анатольевич}",
note = "Николаев И.В, Коробейщиков Н.Г., Роенко М.А. Ионно-кластерная полировка поверхности материалов до субнанометрового уровня шероховатости // Вакуумная техника и технология. - 2018. - Т. 28. - № 1. - С. 71-75",
year = "2018",
language = "русский",
volume = "28",
pages = "71--75",
journal = "Вакуумная техника и технология",
issn = "0869-1738",
number = "1",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - Ионно-кластерная полировка поверхности материалов до субнанометрового уровня шероховатости

AU - Николаев, Иван Владимирович

AU - Коробейщиков, Николай Геннадьевич

AU - Роенко, Максим Анатольевич

N1 - Николаев И.В, Коробейщиков Н.Г., Роенко М.А. Ионно-кластерная полировка поверхности материалов до субнанометрового уровня шероховатости // Вакуумная техника и технология. - 2018. - Т. 28. - № 1. - С. 71-75

PY - 2018

Y1 - 2018

N2 - Проведено исследование влияния ускоренного ионно-кластерного пучка аргона на морфологию поверхностей оптического стекла и нержавеющей стали. Изучены зависимости спектральной плотности мощности шероховатости от пространственной частоты и среднеквадратичной шероховатости от дозы облучения. Среднеквадратичная шероховатость нержавеющей стали уменьшается в 5,5 раза, а оптического стекла – в 4,5 раза. Показана возможность получения материалов с субнанометровой шероховатостью поверхности. Дальнейшее понижение шероховатости нержавеющей стали ограничивается микрогранульной анизотропной структурой обрабатываемого материала.

AB - Проведено исследование влияния ускоренного ионно-кластерного пучка аргона на морфологию поверхностей оптического стекла и нержавеющей стали. Изучены зависимости спектральной плотности мощности шероховатости от пространственной частоты и среднеквадратичной шероховатости от дозы облучения. Среднеквадратичная шероховатость нержавеющей стали уменьшается в 5,5 раза, а оптического стекла – в 4,5 раза. Показана возможность получения материалов с субнанометровой шероховатостью поверхности. Дальнейшее понижение шероховатости нержавеющей стали ограничивается микрогранульной анизотропной структурой обрабатываемого материала.

M3 - статья

VL - 28

SP - 71

EP - 75

JO - Вакуумная техника и технология

JF - Вакуумная техника и технология

SN - 0869-1738

IS - 1

M1 - 7

ER -

ID: 27267973