Standard

Применение ионно-кластерной технологии для модификации поверхности твердых тел. / Шмаков, Алексей Александрович; Коробейщиков, Николай Геннадьевич; Каляда, Валерий Владимирович et al.

Доклады V Всероссийской конференции. «Фундаментальные основы МЭМС и нанотехнологий». Новосибирск. 15-18 июня 2015 г.. ed. / В. Я. Рудяк. Vol. 2 Новосибирск, 2015. p. 174-176.

Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Research › peer-review

Harvard

Шмаков, АА, Коробейщиков, НГ, Каляда, ВВ, Пеньков, ОИ & Зарвин, АЕ 2015, Применение ионно-кластерной технологии для модификации поверхности твердых тел. in ВЯ Рудяк (ed.), Доклады V Всероссийской конференции. «Фундаментальные основы МЭМС и нанотехнологий». Новосибирск. 15-18 июня 2015 г.. vol. 2, Новосибирск, pp. 174-176.

APA

Шмаков, А. А., Коробейщиков, Н. Г., Каляда, В. В., Пеньков, О. И., & Зарвин, А. Е. (2015). Применение ионно-кластерной технологии для модификации поверхности твердых тел. In В. Я. Рудяк (Ed.), Доклады V Всероссийской конференции. «Фундаментальные основы МЭМС и нанотехнологий». Новосибирск. 15-18 июня 2015 г. (Vol. 2, pp. 174-176).

Vancouver

Шмаков АА, Коробейщиков НГ, Каляда ВВ, Пеньков ОИ, Зарвин АЕ. Применение ионно-кластерной технологии для модификации поверхности твердых тел. In Рудяк ВЯ, editor, Доклады V Всероссийской конференции. «Фундаментальные основы МЭМС и нанотехнологий». Новосибирск. 15-18 июня 2015 г.. Vol. 2. Новосибирск. 2015. p. 174-176

Author

Шмаков, Алексей Александрович ; Коробейщиков, Николай Геннадьевич ; Каляда, Валерий Владимирович et al. / Применение ионно-кластерной технологии для модификации поверхности твердых тел. Доклады V Всероссийской конференции. «Фундаментальные основы МЭМС и нанотехнологий». Новосибирск. 15-18 июня 2015 г.. editor / В. Я. Рудяк. Vol. 2 Новосибирск, 2015. pp. 174-176

BibTeX

@inproceedings{146b520392f74b2aa35262932a5c56ff,
title = "Применение ионно-кластерной технологии для модификации поверхности твердых тел",
author = "Шмаков, {Алексей Александрович} and Коробейщиков, {Николай Геннадьевич} and Каляда, {Валерий Владимирович} and Пеньков, {Олег Игоревич} and Зарвин, {Александр Евгеньевич}",
year = "2015",
month = jun,
language = "русский",
isbn = "978-5-7795-0734-9 ",
volume = "2",
pages = "174--176",
editor = "Рудяк, {В. Я.}",
booktitle = "Доклады V Всероссийской конференции. «Фундаментальные основы МЭМС и нанотехнологий». Новосибирск. 15-18 июня 2015 г.",

}

RIS

TY - GEN

T1 - Применение ионно-кластерной технологии для модификации поверхности твердых тел

AU - Шмаков, Алексей Александрович

AU - Коробейщиков, Николай Геннадьевич

AU - Каляда, Валерий Владимирович

AU - Пеньков, Олег Игоревич

AU - Зарвин, Александр Евгеньевич

PY - 2015/6

Y1 - 2015/6

UR - http://www.sibstrin.ru/files/vorotnikov/v2f.pdf

M3 - статья в сборнике материалов конференции

SN - 978-5-7795-0734-9

VL - 2

SP - 174

EP - 176

BT - Доклады V Всероссийской конференции. «Фундаментальные основы МЭМС и нанотехнологий». Новосибирск. 15-18 июня 2015 г.

A2 - Рудяк, В. Я.

CY - Новосибирск

ER -

ID: 27273662