Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › Рецензирование
Применение ионно-кластерной технологии для модификации поверхности твердых тел. / Шмаков, Алексей Александрович; Коробейщиков, Николай Геннадьевич; Каляда, Валерий Владимирович и др.
Доклады V Всероссийской конференции. «Фундаментальные основы МЭМС и нанотехнологий». Новосибирск. 15-18 июня 2015 г.. ред. / В. Я. Рудяк. Том 2 Новосибирск, 2015. стр. 174-176.Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › Рецензирование
}
TY - GEN
T1 - Применение ионно-кластерной технологии для модификации поверхности твердых тел
AU - Шмаков, Алексей Александрович
AU - Коробейщиков, Николай Геннадьевич
AU - Каляда, Валерий Владимирович
AU - Пеньков, Олег Игоревич
AU - Зарвин, Александр Евгеньевич
PY - 2015/6
Y1 - 2015/6
UR - http://www.sibstrin.ru/files/vorotnikov/v2f.pdf
M3 - статья в сборнике материалов конференции
SN - 978-5-7795-0734-9
VL - 2
SP - 174
EP - 176
BT - Доклады V Всероссийской конференции. «Фундаментальные основы МЭМС и нанотехнологий». Новосибирск. 15-18 июня 2015 г.
A2 - Рудяк, В. Я.
CY - Новосибирск
ER -
ID: 27273662