Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Research › peer-review
| Original language | Russian |
|---|---|
| Title of host publication | Доклады V Всероссийской конференции. «Фундаментальные основы МЭМС и нанотехнологий». Новосибирск. 15-18 июня 2015 г. |
| Editors | В. Я. Рудяк |
| Place of Publication | Новосибирск |
| Pages | 174-176 |
| Number of pages | 3 |
| Volume | 2 |
| Publication status | Published - Jun 2015 |
ID: 27273662