Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Research › peer-review
Наноструктурирование поверхности полупроводников ионно-кластерным пучком аргона. / Коробейщиков, Николай Геннадьевич; Николаев, Иван Владимирович; Яковлева, Марина Владимировна et al.
Нанофизика и наноэлектроника: XXIX симпозиум. Тезисы докладов. Нижний Новгород, 2025. p. 317.Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Research › peer-review
}
TY - GEN
T1 - Наноструктурирование поверхности полупроводников ионно-кластерным пучком аргона
AU - Коробейщиков, Николай Геннадьевич
AU - Николаев, Иван Владимирович
AU - Яковлева, Марина Владимировна
AU - Лапега, Алина Витальевна
N1 - Conference code: 28
PY - 2025/3/10
Y1 - 2025/3/10
M3 - статья в сборнике материалов конференции
SP - 317
BT - Нанофизика и наноэлектроника
CY - Нижний Новгород
T2 - XVIII Международный симпозиум "Нанофизика и наноэлектроника"
Y2 - 11 March 2024 through 15 March 2024
ER -
ID: 65208329