Standard

Кластерно-ионные пучки для нанотехнологии. / Коробейщиков, Николай Геннадьевич; Зарвин, Александр Евгеньевич; Каляда, Валерий Владимирович et al.

2011. 79-81 Abstract from Фундаментальные основы МЭМС- и нанотехнологий. Вып. 3.: III Всероссийский семинар, Нговосибирск, Russian Federation.

Research output: Contribution to conference › Abstract › peer-review

Harvard

Коробейщиков, НГ, Зарвин, АЕ, Каляда, ВВ & Федотова, ЕА 2011, 'Кластерно-ионные пучки для нанотехнологии', Фундаментальные основы МЭМС- и нанотехнологий. Вып. 3.: III Всероссийский семинар, Нговосибирск, Russian Federation, 25.05.2011 - 27.05.2011 pp. 79-81.

APA

Коробейщиков, Н. Г., Зарвин, А. Е., Каляда, В. В., & Федотова, Е. А. (2011). Кластерно-ионные пучки для нанотехнологии. 79-81. Abstract from Фундаментальные основы МЭМС- и нанотехнологий. Вып. 3.: III Всероссийский семинар, Нговосибирск, Russian Federation.

Vancouver

Коробейщиков НГ, Зарвин АЕ, Каляда ВВ, Федотова ЕА. Кластерно-ионные пучки для нанотехнологии. 2011. Abstract from Фундаментальные основы МЭМС- и нанотехнологий. Вып. 3.: III Всероссийский семинар, Нговосибирск, Russian Federation.

Author

Коробейщиков, Николай Геннадьевич ; Зарвин, Александр Евгеньевич ; Каляда, Валерий Владимирович et al. / Кластерно-ионные пучки для нанотехнологии. Abstract from Фундаментальные основы МЭМС- и нанотехнологий. Вып. 3.: III Всероссийский семинар, Нговосибирск, Russian Federation.3 p.

BibTeX

@conference{4560eaba87d0451ca2f973b91fd8ec89,
title = "Кластерно-ионные пучки для нанотехнологии",
author = "Коробейщиков, {Николай Геннадьевич} and Зарвин, {Александр Евгеньевич} and Каляда, {Валерий Владимирович} and Е.А. Федотова",
note = "Коробейщиков Н.Г., Зарвин А.Е., Каляда В.В., Федотова Е.А. Кластерно-ионные пучки для нанотехнологии // Фундаментальные основы МЭМС- и нанотехнологий / Новосиб. гос. архитектур.-строит. ун-т. - Новосибирск : НГАСУ (СИБСТРИН). - Вып. 3 : III Всероссийский семинар, Новосибирск, 25-27 мая 2011 г. - 2011. - С. 79-81.; Фундаментальные основы МЭМС- и нанотехнологий. Вып. 3.: III Всероссийский семинар ; Conference date: 25-05-2011 Through 27-05-2011",
year = "2011",
language = "русский",
pages = "79--81",
url = "http://ns.itam.nsc.ru/lib/ecatalog/?author2=%CC%EE%F2%FB%F0%E5%E2+%CF.%C0.",

}

RIS

TY - CONF

T1 - Кластерно-ионные пучки для нанотехнологии

AU - Коробейщиков, Николай Геннадьевич

AU - Зарвин, Александр Евгеньевич

AU - Каляда, Валерий Владимирович

AU - Федотова, Е.А.

N1 - Conference code: 3

PY - 2011

Y1 - 2011

M3 - тезисы

SP - 79

EP - 81

T2 - Фундаментальные основы МЭМС- и нанотехнологий. Вып. 3.: III Всероссийский семинар

Y2 - 25 May 2011 through 27 May 2011

ER -

ID: 27317669