Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы › Рецензирование
Кластерно-ионные пучки для нанотехнологии. / Коробейщиков, Николай Геннадьевич; Зарвин, Александр Евгеньевич; Каляда, Валерий Владимирович и др.
2011. 79-81 Аннотация от Фундаментальные основы МЭМС- и нанотехнологий. Вып. 3.: III Всероссийский семинар, Нговосибирск, Российская Федерация.Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы › Рецензирование
}
TY - CONF
T1 - Кластерно-ионные пучки для нанотехнологии
AU - Коробейщиков, Николай Геннадьевич
AU - Зарвин, Александр Евгеньевич
AU - Каляда, Валерий Владимирович
AU - Федотова, Е.А.
N1 - Conference code: 3
PY - 2011
Y1 - 2011
M3 - тезисы
SP - 79
EP - 81
T2 - Фундаментальные основы МЭМС- и нанотехнологий. Вып. 3.: III Всероссийский семинар
Y2 - 25 May 2011 through 27 May 2011
ER -
ID: 27317669