1. Особенности обработки кластерными ионами аргона поликристаллических пленок AlN на подложках из ситалла и Si

    Николаев, И. В., Коробейщиков, Н. Г., Гейдт, П. В., Chirikov, N. & Струнин, В. И., 15 Jul 2022, In: Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 7, p. 46-50 5 p., 7.

    Research output: Contribution to journalArticlepeer-review

  2. Особенности распыления кластерными ионами поверхности гигроскопичных боратных монокристаллов

    Коробейщиков, Н. Г., Николаев, И. В. & Яковлев, В. В., 23 Aug 2021, Взаимодействие ионов с поверхностью «ВИП-2021»: Труды XXV международной конференции. Посвящается 100-летию со дня рождения А.Д. Сахарова. Том 1. Москва: National Research Nuclear University "MEPhI", p. 71-73 3 p. 13

    Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contributionResearchpeer-review

  3. Прецизионное измерение оптических характеристик приповерхностного слоя твердых тел

    Федюхин, Л. А., Горчаков, А. В., Коробейщиков, Н. Г. & Николаев, И. В., Sept 2021, In: Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики. 114, 5-6(9), p. 304-310 7 p., 3.

    Research output: Contribution to journalArticlepeer-review

  4. Сверхгладкая полировка поверхности материалов с помощью ускоренного ионно-кластерного пучка аргона

    Коробейщиков, Н. Г., Роенко, М. А. & Николаев, И. В., 2017, Всероссийская (с международным участием) конференция «Физика низкотемпературной плазмы» ФНТП-2017. 5 – 9 июня 2017 г. Казань. Сборник тезисов. Казань: Издательство "Отечество", p. 250 1 p.

    Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contributionResearchpeer-review

  5. Сглаживание тонких поликристаллических пленок AlN кластерными ионами аргона

    Николаев, И. В., Коробейщиков, Н. Г., Роенко, М. А., Гейдт, П. В. & Струнин, В. И., 12 Jan 2021, In: Письма в Журнал технической физики. 47, 6, p. 44-47 4 p.

    Research output: Contribution to journalArticlepeer-review

  6. Сглаживание шлифованной поверхности монокристаллического германия ионно-кластерным пучком аргона

    Николаев, И. В., Коробейщиков, Н. Г., Лапега, А. В., Топаков, Д. В., Чесноков, Д. В. & Усубалиев, Н. А., 26 Mar 2024, p. 275. 1 p.

    Research output: Contribution to conferenceAbstractpeer-review

ID: 12592622