Ultrafast Infrared Laser Crystallization of Amorphous Si/Ge Multilayer Structures › Обзор исследований

DOI

https://doi.org/10.3390/ma16093572
Конечная издательская версия
https://doi.org/doi.org/10.3390/ma16093572
Конечная издательская версия

Alexander V Bulgakov
Jiří Beránek
Vladimir A Volodin
Yuzhu Cheng
Yoann Levy
Siva S Nagisetty
Martin Zukerstein
Alexander A Popov
Nadezhda M Bulgakova

Язык оригинала	английский
Номер статьи	3572
Журнал	Materials
Том	16
Номер выпуска	9
DOI	https://doi.org/10.3390/ma16093572 https://doi.org/doi.org/10.3390/ma16093572
Состояние	Опубликовано - 6 мая 2023

Предметные области OECD FOS+WOS

ID: 49679294