Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › Рецензирование
| Язык оригинала | английский |
|---|---|
| Название основной публикации | Laser-Based Micro- and Nanoprocessing XI |
| Редакторы | U Klotzbach, K Washio, R Kling |
| Издатель | SPIE |
| Число страниц | 9 |
| Том | 10092 |
| ISBN (электронное издание) | 9781510606258 |
| ISBN (печатное издание) | 978-1-5106-0626-5 |
| DOI | |
| Состояние | Опубликовано - 1 янв. 2017 |
| Событие | Laser-Based Micro- and Nanoprocessing XI 2017 - San Francisco, Соединенные Штаты Америки Продолжительность: 31 янв. 2017 → 2 февр. 2017 |
| Название | Proceedings of SPIE |
|---|---|
| Издатель | SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING |
| Том | 10092 |
| ISSN (печатное издание) | 0277-786X |
| Конференция | Laser-Based Micro- and Nanoprocessing XI 2017 |
|---|---|
| Страна/Tерритория | Соединенные Штаты Америки |
| Город | San Francisco |
| Период | 31.01.2017 → 02.02.2017 |
ID: 10192676