Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование
| Переведенное название | Структурные изменения в пленках кремний-на-изоляторе нанометровой толщины при высокотемпературном отжиге |
|---|---|
| Язык оригинала | английский |
| Страницы (с-по) | 223-229 |
| Число страниц | 7 |
| Журнал | Semiconductors |
| Том | 56 |
| Номер выпуска | 3 |
| DOI | |
| Состояние | Опубликовано - мар. 2022 |
ID: 36167040