Research output: Contribution to journal › Article › peer-review
| Translated title of the contribution | Структурные изменения в пленках кремний-на-изоляторе нанометровой толщины при высокотемпературном отжиге |
|---|---|
| Original language | English |
| Pages (from-to) | 223-229 |
| Number of pages | 7 |
| Journal | Semiconductors |
| Volume | 56 |
| Issue number | 3 |
| DOIs | |
| Publication status | Published - Mar 2022 |
ID: 36167040