Silicon oxides and silicon nitrides › Обзор исследований

DOI

https://doi.org/10.1117/12.2521759
Конечная издательская версия

V. A. Volodin
G. N. Kamaev
V. N. Kruchinin
V. A. Gritsenko

Язык оригинала	английский
Название основной публикации	International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2018
Редакторы	Vladimir F. Lukichev, Konstantin V. Rudenko
Издатель	SPIE
Число страниц	8
Том	11022
ISBN (электронное издание)	9781510627093
DOI	https://doi.org/10.1117/12.2521759
Состояние	Опубликовано - 1 янв. 2019
Событие	International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2018, ICMNE 2018 - Zvenigorod, Российская Федерация Продолжительность: 1 окт. 2018 → 5 окт. 2018

Серия публикаций

Название	Proceedings of SPIE
Издатель	SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING
Том	11022
ISSN (печатное издание)	0277-786X

Конференция

Конференция	International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2018, ICMNE 2018
Страна/Tерритория	Российская Федерация
Город	Zvenigorod
Период	01.10.2018 → 05.10.2018

ID: 19039057