DOI

  • Viacheslav Konorev
  • Aleksandr Agafontsev
  • Sergey Derevyashkin
  • Evgenij Vasiliev
  • Vladimir Shelkovnikov
  • Aleksandr Bayrash
  • Aleksandra Bukhtoyarova
  • Larisa Gurskaya
  • Inna Shundrina
  • Irina Bagryanskaya
Переведенное названиеНеионогенные иминосульфонатные фотогенераторы кислоты для фотолитографии: Синтез, свойства и применение в позитивных фоторезистах
Язык оригиналаанглийский
Номер статьиe74273
Число страниц9
ЖурналChemistrySelect
Том11
Номер выпуска34
DOI
СостояниеОпубликовано - 7 сент. 2026

    Области исследований

  • гетероциклы, наноструктуры, фотохимия, фотолитография

    Предметные области OECD FOS+WOS

  • 1.04.DY ХИМИЯ, МУЛЬТИДИСЦИПЛИНАРНАЯ

ID: 83163216