DOI

  • Viacheslav Konorev
  • Aleksandr Agafontsev
  • Sergey Derevyashkin
  • Evgenij Vasiliev
  • Vladimir Shelkovnikov
  • Aleksandr Bayrash
  • Aleksandra Bukhtoyarova
  • Larisa Gurskaya
  • Inna Shundrina
  • Irina Bagryanskaya
Translated title of the contributionНеионогенные иминосульфонатные фотогенераторы кислоты для фотолитографии: Синтез, свойства и применение в позитивных фоторезистах
Original languageEnglish
Article numbere74273
Number of pages9
JournalChemistrySelect
Volume11
Issue number34
DOIs
Publication statusPublished - 7 Sept 2026

    Research areas

  • heterocycles, nanostructures, photochemistry, photolithography

    OECD FOS+WOS

  • 1.04.DY CHEMISTRY, MULTIDISCIPLINARY

ID: 83163216