Large-scale and localized laser crystallization of optically thick amorphous silicon films by near-IR femtosecond pulses › Обзор исследований

Исследовательский портал НГУ

Large-scale and localized laser crystallization of optically thick amorphous silicon films by near-IR femtosecond pulses

Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

DOI

https://doi.org/10.3390/ma13225296
Конечная издательская версия

Kirill Bronnikov
Alexander Dostovalov
Artem Cherepakhin
Eugeny Mitsai
Alexander Nepomniaschiy
Sergei A. Kulinich
Alexey Zhizhchenko
Aleksandr Kuchmizhak

Язык оригинала	английский
Номер статьи	5296
Страницы (с-по)	1-10
Число страниц	10
Журнал	Materials
Том	13
Номер выпуска	22
DOI	https://doi.org/10.3390/ma13225296
Состояние	Опубликовано - 2 нояб. 2020

Предметные области OECD FOS+WOS

ID: 26082215