Результаты исследований: Материалы конференций › материалы › Рецензирование
Gas Dynamic Aspects of Silicon Thin Layers Deposition Using Excitation of Free Jet of Working Gas Mixture by Electron Beam : 28th International Symposium on Rarefied Gas Dynamics. July 09-13, 2012. Zaragoza, Spain. rgd28.es/Book_of_Abstracts.pdf. / Сковородко, Петр Алексеевич; Шарафутдинов , Р.Г.; Щукин, В.Г. и др.
2012. 193.Результаты исследований: Материалы конференций › материалы › Рецензирование
}
TY - CONF
T1 - Gas Dynamic Aspects of Silicon Thin Layers Deposition Using Excitation of Free Jet of Working Gas Mixture by Electron Beam
T2 - 28th International Symposium on Rarefied Gas Dynamics. July 09-13, 2012. Zaragoza, Spain. rgd28.es/Book_of_Abstracts.pdf.
AU - Сковородко, Петр Алексеевич
AU - Шарафутдинов , Р.Г.
AU - Щукин, В.Г.
AU - Константинов , В.О.
PY - 2012
Y1 - 2012
M3 - Paper
SP - 193
ER -
ID: 27282991