Gas Dynamic Aspects of Silicon Thin Layers Deposition Using Excitation of Free Jet of Working Gas Mixture by Electron Beam: 28th International Symposium on Rarefied Gas Dynamics. July 09-13, 2012. Zaragoza, Spain. rgd28.es/Book_of_Abstracts.pdf.

Результаты исследований: Материалы конференций › материалы › Рецензирование