Formation of germanium nanocrystals and amorphous nanoclusters in GeSiOx films using electron beam annealing › Обзор исследований

DOI

https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2021.110796
Конечная издательская версия

Fan Zhang
V. A. Volodin
E. A. Baranov
V. O. Konstantinov
V. G. Shchukin
A. O. Zamchiy
M. Vergnat

Язык оригинала	английский
Номер статьи	110796
Журнал	Vacuum
Том	197
DOI	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2021.110796
Состояние	Опубликовано - мар. 2022

Предметные области OECD FOS+WOS

2.05 ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ
1.03 ФИЗИЧЕСКИЕ НАУКИ И АСТРОНОМИЯ

ID: 34986312