DOI

Язык оригиналаанглийский
Номер статьи110796
ЖурналVacuum
Том197
DOI
СостояниеОпубликовано - мар. 2022

    Предметные области OECD FOS+WOS

  • 2.05 ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ
  • 1.03 ФИЗИЧЕСКИЕ НАУКИ И АСТРОНОМИЯ

ID: 34986312