Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование
| Переведенное название | Эллипсометрические in situ методы контроля температуры в технологии выращивания слоёв МЛЭ КРТ |
|---|---|
| Язык оригинала | английский |
| Номер статьи | 5 |
| Страницы (с-по) | 476-484 |
| Число страниц | 9 |
| Журнал | Optoelectronics, Instrumentation and Data Processing |
| Том | 57 |
| Номер выпуска | 5 |
| DOI | |
| Состояние | Опубликовано - сент. 2021 |
ID: 35771128