DOI

  • Ting Jeng Liu
  • Shao Min Hsu
  • Meng Jhu Wu
  • Pavel Ianko
  • Cheng Yao Lo
Язык оригиналаанглийский
Номер статьи124005
Число страниц12
ЖурналJournal of Micromechanics and Microengineering
Том29
Номер выпуска12
DOI
СостояниеОпубликовано - 5 нояб. 2019

    Предметные области OECD FOS+WOS

ID: 22576933