Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование
| Язык оригинала | английский |
|---|---|
| Номер статьи | 063404 |
| Журнал | Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films |
| Том | 40 |
| Номер выпуска | 6 |
| DOI | |
| Состояние | Опубликовано - 1 дек. 2022 |
ID: 39473178