Charge Transport Mechanism in Atomic Layer Deposited Oxygen-Deficient TaOx Films

Язык оригинала	английский
Номер статьи	2000432
Число страниц	6
Журнал	Physica Status Solidi (B) Basic Research
Том	258
Номер выпуска	3
Дата раннего онлайн-доступа	27 окт. 2020
DOI	https://doi.org/10.1002/pssb.202000432
Состояние	Опубликовано - мар. 2021

ID: 26134121