Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование
| Переведенное название | Транспорт заряда в нестехиометрическом SiOx, полученном обработкой термического SiO2 в водородной плазме электронно-циклотронного резонанса |
|---|---|
| Язык оригинала | английский |
| Номер статьи | 3 |
| Страницы (с-по) | 24-35 |
| Число страниц | 12 |
| Журнал | Russian Microelectronics |
| Том | 51 |
| Номер выпуска | 1 |
| DOI | |
| Состояние | Опубликовано - февр. 2022 |
ID: 35726674