Research output: Contribution to journal › Article › peer-review
| Translated title of the contribution | Транспорт заряда в нестехиометрическом SiOx, полученном обработкой термического SiO2 в водородной плазме электронно-циклотронного резонанса |
|---|---|
| Original language | English |
| Article number | 3 |
| Pages (from-to) | 24-35 |
| Number of pages | 12 |
| Journal | Russian Microelectronics |
| Volume | 51 |
| Issue number | 1 |
| DOIs | |
| Publication status | Published - Feb 2022 |
ID: 35726674