Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование
| Язык оригинала | английский |
|---|---|
| Страницы (с-по) | 275-278 |
| Число страниц | 4 |
| Журнал | Microelectronic Engineering |
| Том | 178 |
| DOI | |
| Состояние | Опубликовано - 25 июн. 2017 |
ID: 10187822