DOI

Переведенное названиеOVERGROWTH OF N-POLAR INVERSION DOMAINS IN ALXGA1-XN LAYERS WITH DIFFERENT AL CONTENTS
Язык оригиналарусский
Страницы (с-по)59-66
ЖурналАвтометрия
Том61
Номер выпуска6
DOI
СостояниеОпубликовано - 2025

    Области исследований

  • ALXGA1-XN, АММИАЧНАЯ МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВАЯ ЭПИТАКСИЯ, СКАНИРУЮЩАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ, ПРОСВЕЧИВАЮЩАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ, ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ, СТРУКТУРНЫЕ ДЕФЕКТЫ

    Предметные области OECD FOS+WOS

  • 2.11 ПРОЧИЕ ТЕХНОЛОГИИ

ID: 74228059