Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › Рецензирование
Конечная издательская версия
Язык оригинала | русский |
---|---|
Название основной публикации | Формирование частиц Ge на поверхности ITO методами электронной и взрывной литографии |
Страницы | 162-163 |
Число страниц | 2 |
Состояние | Опубликовано - 2023 |
ID: 59394907