Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › Рецензирование
Конечная издательская версия
| Язык оригинала | русский |
|---|---|
| Название основной публикации | ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВЫЕ ТЕХНОЛОГИИ И РЕНТГЕНОВСКАЯ ОПТИКА В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ |
| Подзаголовок основной публикации | Тезисы докладов |
| Место публикации | Москва |
| Страницы | 162-163 |
| Число страниц | 2 |
| Состояние | Опубликовано - 2023 |
| Событие | 2-я объединённая конференция "Электронно-лучевые технологии и рентгеновская оптика в микроэлектронике" - Черноголовка, Российская Федерация Продолжительность: 13 нояб. 2023 → 17 нояб. 2023 Номер конференции: 2 |
| Конференция | 2-я объединённая конференция "Электронно-лучевые технологии и рентгеновская оптика в микроэлектронике" |
|---|---|
| Сокращенное название | КЭЛТ-2023 |
| Страна/Tерритория | Российская Федерация |
| Город | Черноголовка |
| Период | 13.11.2023 → 17.11.2023 |
ID: 59394907