Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Research › peer-review
Final published version
| Original language | Russian |
|---|---|
| Title of host publication | ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВЫЕ ТЕХНОЛОГИИ И РЕНТГЕНОВСКАЯ ОПТИКА В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ |
| Subtitle of host publication | Тезисы докладов |
| Place of Publication | Москва |
| Pages | 162-163 |
| Number of pages | 2 |
| Publication status | Published - 2023 |
| Event | 2-я объединённая конференция "Электронно-лучевые технологии и рентгеновская оптика в микроэлектронике" - Черноголовка, Russian Federation Duration: 13 Nov 2023 → 17 Nov 2023 Conference number: 2 |
| Conference | 2-я объединённая конференция "Электронно-лучевые технологии и рентгеновская оптика в микроэлектронике" |
|---|---|
| Abbreviated title | КЭЛТ-2023 |
| Country/Territory | Russian Federation |
| City | Черноголовка |
| Period | 13.11.2023 → 17.11.2023 |
ID: 59394907