Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › Рецензирование
Кристаллизация германия и многослойных структур Ge/Si с применением ультракоротких импульсов инфракрасного лазера. / Чэн, Юйчжу .
сборник тезисов: Международная научная студенческая конференция 2023 МНСК - 2023. ИПЦ НГУ, 2023. стр. 117.Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › Рецензирование
}
TY - GEN
T1 - Кристаллизация германия и многослойных структур Ge/Si с применением ультракоротких импульсов инфракрасного лазера
AU - Чэн, Юйчжу
N1 - Conference code: 61
PY - 2023
Y1 - 2023
N2 - Исследованы два типа образцов. Первый — пленки a-Ge:H (15 или 200 нм); второй —многослойные структуры a-Si:H/a-Ge:H, состоящие из 4 кремниевых (40 нм) и 3 германиевых (15 нм) чередующихся слоев.
AB - Исследованы два типа образцов. Первый — пленки a-Ge:H (15 или 200 нм); второй —многослойные структуры a-Si:H/a-Ge:H, состоящие из 4 кремниевых (40 нм) и 3 германиевых (15 нм) чередующихся слоев.
KW - кристаллизация германия
KW - инфракрасные лазеры
KW - лазерный отжиг
UR - https://elibrary.ru/item.asp?id=71275545
M3 - статья в сборнике материалов конференции
SN - 978-5-4437-1442-4
SP - 117
BT - сборник тезисов: Международная научная студенческая конференция 2023 МНСК - 2023
PB - ИПЦ НГУ
T2 - 61-ая Международная научная студенческая конференция
Y2 - 17 April 2023 through 26 April 2023
ER -
ID: 59558551