Кристаллизация германия и многослойных структур Ge/Si с применением ультракоротких импульсов инфракрасного лазера

Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › Рецензирование