Standard

Метод получения антиотражающих покрытий из массива частиц SiGe посредством их самоорганизации на подложках кремния. / Шкляев, Александр Андреевич (автор); Utkin, Dmitry (автор).

Новосибирский государственный университет. Номер патента: 50. дек. 09, 2021.

Результаты исследований: Патенты/Свидетельства о регистрациисвидетельство о регистрации ноу-хау

Harvard

APA

Vancouver

Author

BibTeX

@misc{28fcca092d2b4c28838162cc1796693a,
title = "Метод получения антиотражающих покрытий из массива частиц SiGe посредством их самоорганизации на подложках кремния",
keywords = "КРЕМНИЙ, АНТИОТРАЖАЮЩИЕ ПОКРЫТИЯ, ЧАСТИЦЫ, НЕСМАЧИВАЕМОСТЬ, ЭФФУЗИОННОЕ ОСАЖДЕНИЕ, ГЕРМАНИЙ",
author = "Шкляев, {Александр Андреевич} and Dmitry Utkin",
year = "2021",
month = dec,
day = "9",
language = "русский",
publisher = "Новосибирский государственный университет",
address = "Российская Федерация",
type = "Patent",
note = "50",

}

RIS

TY - PAT

T1 - Метод получения антиотражающих покрытий из массива частиц SiGe посредством их самоорганизации на подложках кремния

AU - Шкляев, Александр Андреевич

AU - Utkin, Dmitry

PY - 2021/12/9

Y1 - 2021/12/9

KW - КРЕМНИЙ

KW - АНТИОТРАЖАЮЩИЕ ПОКРЫТИЯ

KW - ЧАСТИЦЫ

KW - НЕСМАЧИВАЕМОСТЬ

KW - ЭФФУЗИОННОЕ ОСАЖДЕНИЕ

KW - ГЕРМАНИЙ

M3 - свидетельство о регистрации ноу-хау

M1 - 50

PB - Новосибирский государственный университет

ER -

ID: 34914062