Документы

Язык оригиналарусский
Номер патента50
Дата приоритета08.12.2021
СостояниеОпубликовано - 9 дек. 2021

    Области исследований

  • КРЕМНИЙ, АНТИОТРАЖАЮЩИЕ ПОКРЫТИЯ, ЧАСТИЦЫ, НЕСМАЧИВАЕМОСТЬ, ЭФФУЗИОННОЕ ОСАЖДЕНИЕ, ГЕРМАНИЙ

    ГРНТИ

  • 29.19.31 Полупроводники
  • 29.19.22 Физика наноструктур. Низкоразмер-ные структуры. Мезоскопические структуры
  • 29.31.27 Взаимодействие оптического излучения с веществом

ID: 34914062