Метод получения антиотражающих покрытий из массива частиц SiGe посредством их самоорганизации на подложках кремния

Новосибирский государственный университет. Patent No.: 50. Dec 09, 2021.

Research output: Patent › Know-how registration

@misc{28fcca092d2b4c28838162cc1796693a,

title = "Метод получения антиотражающих покрытий из массива частиц SiGe посредством их самоорганизации на подложках кремния",

keywords = "КРЕМНИЙ, АНТИОТРАЖАЮЩИЕ ПОКРЫТИЯ, ЧАСТИЦЫ, НЕСМАЧИВАЕМОСТЬ, ЭФФУЗИОННОЕ ОСАЖДЕНИЕ, ГЕРМАНИЙ",

author = "Шкляев, {Александр Андреевич} and Dmitry Utkin",

year = "2021",

month = dec,

day = "9",

language = "русский",

publisher = "Новосибирский государственный университет",

address = "Российская Федерация",

type = "Patent",

note = "50",

}

TY - PAT

T1 - Метод получения антиотражающих покрытий из массива частиц SiGe посредством их самоорганизации на подложках кремния

AU - Шкляев, Александр Андреевич

AU - Utkin, Dmitry

PY - 2021/12/9

Y1 - 2021/12/9

KW - КРЕМНИЙ

KW - АНТИОТРАЖАЮЩИЕ ПОКРЫТИЯ

KW - ЧАСТИЦЫ

KW - НЕСМАЧИВАЕМОСТЬ

KW - ЭФФУЗИОННОЕ ОСАЖДЕНИЕ

KW - ГЕРМАНИЙ

M3 - свидетельство о регистрации ноу-хау

M1 - 50

PB - Новосибирский государственный университет

ER -

ID: 34914062