Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование
| Переведенное название | Composition and optical properties of amorphous plasma-chemical silicon oxynitride of variable composition a SiOxNy:H |
|---|---|
| Язык оригинала | русский |
| Номер статьи | 20 |
| Страницы (с-по) | 575-582 |
| Число страниц | 8 |
| Журнал | Журнал технической физики |
| Том | 93 |
| Номер выпуска | 4 |
| DOI | |
| Состояние | Опубликовано - мар. 2023 |
ID: 55437658