DOI

Переведенное названиеSYNTHESIS OF TITANIFEROUS FILMS BY THE METHOD OF MAGNETRON SPUTTERING IN A DISCHARGE WITH A SMALL ANODE WHILE ANNEALING IN NITROGEN AND AIR
Язык оригиналарусский
Страницы (с-по)755-761
ЖурналТеплофизика и аэромеханика
Том32
Номер выпуска4
DOI
СостояниеОпубликовано - 2025

    Предметные области OECD FOS+WOS

  • 2.03 МЕХАНИКА И МАШИНОСТРОЕНИЕ

    Области исследований

  • МАГНЕТРОН, ТОНКИЕ ПЛЕНКИ, НИТРИД ТИТАНА, ОКСИД ТИТАНА, ВНЕШНИЙ АНОД, ОТЖИГ

ID: 74249270