Синтез титаносодержащих пленок методом магнетронного распыления в разряде с малым анодом при отжиге в азоте и воздухе

Standard

Синтез титаносодержащих пленок методом магнетронного распыления в разряде с малым анодом при отжиге в азоте и воздухе. / Зайцев, Олег Валерьевич; Гареев, Тимур Ильясович ; Нерушев, Олег Алексеевич и др.

в: Теплофизика и аэромеханика, Том 32, № 4, 2025, стр. 755-761.

Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

BibTeX

@article{b3cef24ef948420ba6dd4ff38eb12d41,

title = "Синтез титаносодержащих пленок методом магнетронного распыления в разряде с малым анодом при отжиге в азоте и воздухе",

abstract = "В работе описывается метод получения пленок нитрида титана методом магнетронного распыления в разряде с малым анодом, в результате использования которого синтезированные пленки имеют меньшую плотность, чем пленки, синтезированные с помощью стандартного метода магнетронного распыления. Образованные покрытия также подвергались отжигу в кислородсодержащей и азотной атмосфере. Для пленок изучены вольт-амперные характеристики магнетронного разряда и малого анода, проведены сканирующая электронная микроскопия, рентгенофазовый анализ, резистометрия и спектральные измерения оптического пропускания. Исследования показали, что образцы, синтезированные с анодом, по сравнению с образцами, синтезированными без анода, имеют большую толщину, меньший размер кристаллитов, меньшую прозрачность и запрещенную зону, а также большее сопротивление, что с учетом незначительного изменения режима работы магнетрона свидетельствует об уменьшении плотности пленок.",

keywords = "МАГНЕТРОН, ТОНКИЕ ПЛЕНКИ, НИТРИД ТИТАНА, ОКСИД ТИТАНА, ВНЕШНИЙ АНОД, ОТЖИГ",

author = "Зайцев, {Олег Валерьевич} and Гареев, {Тимур Ильясович} and Нерушев, {Олег Алексеевич} and Сорокин, {Дмитрий Владимирович} and Корольков, {Илья Викторович} and Суляева, {Вероника Сергеевна}",

note = "Синтез титаносодержащих пленок методом магнетронного распыления в разряде с малым анодом при отжиге в азоте и воздухе / О. В. Зайцев, Т. И. Гареев, О. А. Нерушев [и др.] // Теплофизика и аэромеханика. – 2025. – Т. 32, № 4. – С. 755-761. – DOI 10.63430/TIA202504011. – EDN BCJMIX. Работа выполнена в рамках гранта РНФ (код проекта 23-29-10130) и соглашения Министерства науки и инновационной политики Новосибирской области (соглашение № р-62). ",

year = "2025",

doi = "10.63430/TIA202504011",

language = "русский",

volume = "32",

pages = "755--761",

journal = "Теплофизика и аэромеханика",

issn = "0869-8635",

publisher = "ФГУП {"}Издательство СО РАН{"}",

number = "4",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - Синтез титаносодержащих пленок методом магнетронного распыления в разряде с малым анодом при отжиге в азоте и воздухе

AU - Зайцев, Олег Валерьевич

AU - Гареев, Тимур Ильясович

AU - Нерушев, Олег Алексеевич

AU - Сорокин, Дмитрий Владимирович

AU - Корольков, Илья Викторович

AU - Суляева, Вероника Сергеевна

N1 - Синтез титаносодержащих пленок методом магнетронного распыления в разряде с малым анодом при отжиге в азоте и воздухе / О. В. Зайцев, Т. И. Гареев, О. А. Нерушев [и др.] // Теплофизика и аэромеханика. – 2025. – Т. 32, № 4. – С. 755-761. – DOI 10.63430/TIA202504011. – EDN BCJMIX. Работа выполнена в рамках гранта РНФ (код проекта 23-29-10130) и соглашения Министерства науки и инновационной политики Новосибирской области (соглашение № р-62).

PY - 2025

Y1 - 2025

N2 - В работе описывается метод получения пленок нитрида титана методом магнетронного распыления в разряде с малым анодом, в результате использования которого синтезированные пленки имеют меньшую плотность, чем пленки, синтезированные с помощью стандартного метода магнетронного распыления. Образованные покрытия также подвергались отжигу в кислородсодержащей и азотной атмосфере. Для пленок изучены вольт-амперные характеристики магнетронного разряда и малого анода, проведены сканирующая электронная микроскопия, рентгенофазовый анализ, резистометрия и спектральные измерения оптического пропускания. Исследования показали, что образцы, синтезированные с анодом, по сравнению с образцами, синтезированными без анода, имеют большую толщину, меньший размер кристаллитов, меньшую прозрачность и запрещенную зону, а также большее сопротивление, что с учетом незначительного изменения режима работы магнетрона свидетельствует об уменьшении плотности пленок.

AB - В работе описывается метод получения пленок нитрида титана методом магнетронного распыления в разряде с малым анодом, в результате использования которого синтезированные пленки имеют меньшую плотность, чем пленки, синтезированные с помощью стандартного метода магнетронного распыления. Образованные покрытия также подвергались отжигу в кислородсодержащей и азотной атмосфере. Для пленок изучены вольт-амперные характеристики магнетронного разряда и малого анода, проведены сканирующая электронная микроскопия, рентгенофазовый анализ, резистометрия и спектральные измерения оптического пропускания. Исследования показали, что образцы, синтезированные с анодом, по сравнению с образцами, синтезированными без анода, имеют большую толщину, меньший размер кристаллитов, меньшую прозрачность и запрещенную зону, а также большее сопротивление, что с учетом незначительного изменения режима работы магнетрона свидетельствует об уменьшении плотности пленок.

KW - МАГНЕТРОН

KW - ТОНКИЕ ПЛЕНКИ

KW - НИТРИД ТИТАНА

KW - ОКСИД ТИТАНА

KW - ВНЕШНИЙ АНОД

KW - ОТЖИГ

UR - https://www.elibrary.ru/item.asp?id=85549728

U2 - 10.63430/TIA202504011

DO - 10.63430/TIA202504011

M3 - статья

VL - 32

SP - 755

EP - 761

JO - Теплофизика и аэромеханика

JF - Теплофизика и аэромеханика

SN - 0869-8635

IS - 4

ER -

ID: 74249270