Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование
| Переведенное название | INFLUENCE OF SMALL ANODE DISCHARGE ON THE PROPERTIES OF THIN TITANIUM-CONTAINING FILMS OBTAINED BY MAGNETRON SPUTTERING WITH SUBSEQUENT ANNEALING |
|---|---|
| Язык оригинала | русский |
| Страницы (с-по) | 916-930 |
| Журнал | Журнал Сибирского федерального университета. Серия: техника и технологии |
| Том | 18 |
| Номер выпуска | 7 |
| Состояние | Опубликовано - 2025 |
ID: 74614360