Влияние разряда малого анода на свойства тонких титаносодержащих плёнок, полученных методом магнетронного распыления с последующим отжигом

Standard

Влияние разряда малого анода на свойства тонких титаносодержащих плёнок, полученных методом магнетронного распыления с последующим отжигом. / Зайцев, Олег Валерьевич; Гареев, Тимур Ильясович ; Нерушев, Олег Алексеевич и др.

в: Журнал Сибирского федерального университета. Серия: техника и технологии, Том 18, № 7, 2025, стр. 916-930.

Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

BibTeX

@article{b6612632c06f451b97a13fa0650c96ef,

title = "Влияние разряда малого анода на свойства тонких титаносодержащих плёнок, полученных методом магнетронного распыления с последующим отжигом",

abstract = "Эта статья предлагает модифицированный метод магнетронного распыления с использованием дополнительного разряда вблизи подложки, создаваемого малым анодом. Это дает возможность управлять концентрацией потока заряженных частиц, поступающих на подложку, что позволяет контролировать свойства получаемых покрытий. Полученные данным методом плёнки титана были отожжены на воздухе и в азоте при различных температурах. Полученные титаносодержащие плёнки демонстрировали свойства, зависящие от свойств исходной плёнки. Было выявлено, как плотность исходных плёнок влияет на кинетику трансформации во время отжига",

keywords = "МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ, ТРИОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ, ПЛОТНОСТЬ ПЛЁНОК, ПЛЁНКИ ТИТАНА, РУТИЛ, ТИТАНОСОДЕРЖАЩИЕ ТОНКИЕ ПЛЁНКИ",

author = "Зайцев, {Олег Валерьевич} and Гареев, {Тимур Ильясович} and Нерушев, {Олег Алексеевич} and Коваленко, {Павел Вячеславович}",

note = "Влияние разряда малого анода на свойства тонких титаносодержащих плёнок, полученных методом магнетронного распыления с последующим отжигом / О. В. Зайцев, Т. И. Гареев, О. А. Нерушев, П. В. Коваленко // Журнал Сибирского федерального университета. Серия: Техника и технологии. – 2025. – Т. 18, № 7. – С. 916-930. – EDN BGARFH.",

year = "2025",

language = "русский",

volume = "18",

pages = "916--930",

journal = "Журнал Сибирского федерального университета. Серия: техника и технологии",

issn = "1999-494X",

number = "7",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - Влияние разряда малого анода на свойства тонких титаносодержащих плёнок, полученных методом магнетронного распыления с последующим отжигом

AU - Зайцев, Олег Валерьевич

AU - Гареев, Тимур Ильясович

AU - Нерушев, Олег Алексеевич

AU - Коваленко, Павел Вячеславович

N1 - Влияние разряда малого анода на свойства тонких титаносодержащих плёнок, полученных методом магнетронного распыления с последующим отжигом / О. В. Зайцев, Т. И. Гареев, О. А. Нерушев, П. В. Коваленко // Журнал Сибирского федерального университета. Серия: Техника и технологии. – 2025. – Т. 18, № 7. – С. 916-930. – EDN BGARFH.

PY - 2025

Y1 - 2025

N2 - Эта статья предлагает модифицированный метод магнетронного распыления с использованием дополнительного разряда вблизи подложки, создаваемого малым анодом. Это дает возможность управлять концентрацией потока заряженных частиц, поступающих на подложку, что позволяет контролировать свойства получаемых покрытий. Полученные данным методом плёнки титана были отожжены на воздухе и в азоте при различных температурах. Полученные титаносодержащие плёнки демонстрировали свойства, зависящие от свойств исходной плёнки. Было выявлено, как плотность исходных плёнок влияет на кинетику трансформации во время отжига

AB - Эта статья предлагает модифицированный метод магнетронного распыления с использованием дополнительного разряда вблизи подложки, создаваемого малым анодом. Это дает возможность управлять концентрацией потока заряженных частиц, поступающих на подложку, что позволяет контролировать свойства получаемых покрытий. Полученные данным методом плёнки титана были отожжены на воздухе и в азоте при различных температурах. Полученные титаносодержащие плёнки демонстрировали свойства, зависящие от свойств исходной плёнки. Было выявлено, как плотность исходных плёнок влияет на кинетику трансформации во время отжига

KW - МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ

KW - ТРИОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ

KW - ПЛОТНОСТЬ ПЛЁНОК

KW - ПЛЁНКИ ТИТАНА

KW - РУТИЛ

KW - ТИТАНОСОДЕРЖАЩИЕ ТОНКИЕ ПЛЁНКИ

UR - https://elibrary.ru/item.asp?id=83191466

M3 - статья

VL - 18

SP - 916

EP - 930

JO - Журнал Сибирского федерального университета. Серия: техника и технологии

JF - Журнал Сибирского федерального университета. Серия: техника и технологии

SN - 1999-494X

IS - 7

ER -

ID: 74614360