Ссылки

  • Владимир Алексеевич Володин (автор)
  • Геннадий Николаевич Камаев (автор)
  • Александр Харитонович Антоненко (автор)
  • Дмитрий Игоревич Кошелев (автор)
Язык оригиналарусский
Номер патента2531081
IPC/МПКG01N21/65,H01L21/66
Дата приоритета18.07.2013
СостояниеОпубликовано - 20 окт. 2014

ID: 26695165