Standard

Сглаживание шлифованной поверхности монокристаллического германия ионно-кластерным пучком аргона. / Николаев, Иван Владимирович; Коробейщиков, Николай Геннадьевич; Лапега, Алина Витальевна и др.

2024. 275 Аннотация от X Международная конференция «Лазерные, плазменные исследования и технологии ЛаПлаз-2024», Москва, Российская Федерация.

Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы › Рецензирование

Harvard

Николаев, ИВ, Коробейщиков, НГ, Лапега, АВ, Топаков , ДВ, Чесноков, ДВ & Усубалиев , НА 2024, 'Сглаживание шлифованной поверхности монокристаллического германия ионно-кластерным пучком аргона', X Международная конференция «Лазерные, плазменные исследования и технологии ЛаПлаз-2024», Москва, Российская Федерация, 26.03.2024 - 29.03.2024 стр. 275.

APA

Николаев, И. В., Коробейщиков, Н. Г., Лапега, А. В., Топаков , Д. В., Чесноков, Д. В., & Усубалиев , Н. А. (2024). Сглаживание шлифованной поверхности монокристаллического германия ионно-кластерным пучком аргона. 275. Аннотация от X Международная конференция «Лазерные, плазменные исследования и технологии ЛаПлаз-2024», Москва, Российская Федерация.

Vancouver

Николаев ИВ, Коробейщиков НГ, Лапега АВ, Топаков ДВ, Чесноков ДВ, Усубалиев НА. Сглаживание шлифованной поверхности монокристаллического германия ионно-кластерным пучком аргона. 2024. Аннотация от X Международная конференция «Лазерные, плазменные исследования и технологии ЛаПлаз-2024», Москва, Российская Федерация.

Author

Николаев, Иван Владимирович ; Коробейщиков, Николай Геннадьевич ; Лапега, Алина Витальевна и др. / Сглаживание шлифованной поверхности монокристаллического германия ионно-кластерным пучком аргона. Аннотация от X Международная конференция «Лазерные, плазменные исследования и технологии ЛаПлаз-2024», Москва, Российская Федерация.1 стр.

BibTeX

@conference{547029131e7242ac9088746295e4f3af,
title = "Сглаживание шлифованной поверхности монокристаллического германия ионно-кластерным пучком аргона",
abstract = "Проведена обработка поверхности пластин монокристаллического германия кластерными ионами аргона при различных удельных энергиях кластеров. Продемонстрировано, что взаимодействие ионно-кластерного пучка аргона со шлифованной поверхностью германия приводит к снижению шероховатости поверхности приблизительно на 15%. Проведено сравнение воздействия кластерных ионов с удельной энергией кластеров 10 и 105 эВ/атом.",
author = "Николаев, {Иван Владимирович} and Коробейщиков, {Николай Геннадьевич} and Лапега, {Алина Витальевна} and Топаков, {Дмитрий Валерьевич} and Чесноков, {Дмитрий Владимирович} and Усубалиев, {Нурлан Абдыназарович}",
note = "Сглаживание шлифованной поверхности монокристаллического германия ионно-кластерным пучком аргона / И.В. Николаев, Н.Г. Коробейщиков, А.В. Лапега [и др.] // Лазерные, плазменные исследования и технологии ЛаПлаз-2024 : Сборник научных трудов X Международной конференции, Москва, 26–29 марта 2024 года. – Москва: Национальный исследовательский ядерный университет {"}МИФИ{"}, 2024. – С. 275. ISBN 978-5-7262-3051-1 Исследование выполнено за счет гранта Российского научного фонда № 23-79-10061(https://rscf.ru/project/23-79-10061/) с использованием оборудования ЦКП «Прикладная физика» НГУ.; X Международная конференция «Лазерные, плазменные исследования и технологии ЛаПлаз-2024», ЛаПлаз-2024 ; Conference date: 26-03-2024 Through 29-03-2024",
year = "2024",
month = mar,
day = "26",
language = "русский",
pages = "275",
url = "https://laplas.mephi.ru/laplas2024/",

}

RIS

TY - CONF

T1 - Сглаживание шлифованной поверхности монокристаллического германия ионно-кластерным пучком аргона

AU - Николаев, Иван Владимирович

AU - Коробейщиков, Николай Геннадьевич

AU - Лапега, Алина Витальевна

AU - Топаков , Дмитрий Валерьевич

AU - Чесноков, Дмитрий Владимирович

AU - Усубалиев , Нурлан Абдыназарович

N1 - Conference code: X

PY - 2024/3/26

Y1 - 2024/3/26

N2 - Проведена обработка поверхности пластин монокристаллического германия кластерными ионами аргона при различных удельных энергиях кластеров. Продемонстрировано, что взаимодействие ионно-кластерного пучка аргона со шлифованной поверхностью германия приводит к снижению шероховатости поверхности приблизительно на 15%. Проведено сравнение воздействия кластерных ионов с удельной энергией кластеров 10 и 105 эВ/атом.

AB - Проведена обработка поверхности пластин монокристаллического германия кластерными ионами аргона при различных удельных энергиях кластеров. Продемонстрировано, что взаимодействие ионно-кластерного пучка аргона со шлифованной поверхностью германия приводит к снижению шероховатости поверхности приблизительно на 15%. Проведено сравнение воздействия кластерных ионов с удельной энергией кластеров 10 и 105 эВ/атом.

UR - https://elibrary.ru/item.asp?id=65611934

M3 - тезисы

SP - 275

T2 - X Международная конференция «Лазерные, плазменные исследования и технологии ЛаПлаз-2024»

Y2 - 26 March 2024 through 29 March 2024

ER -

ID: 59820140