Standard

Ионно-кластерная обработка поверхности монокристаллических кремния и германия. / Николаев, Иван Владимирович; Коробейщиков, Николай Геннадьевич; Лапега, Алина Витальевна.

2024. 10 Аннотация от 53-я международная Тулиновской конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, Российская Федерация.

Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы › Рецензирование

Harvard

Николаев, ИВ, Коробейщиков, НГ & Лапега, АВ 2024, 'Ионно-кластерная обработка поверхности монокристаллических кремния и германия', 53-я международная Тулиновской конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, Российская Федерация, 28.05.2024 - 30.05.2024 стр. 10.

APA

Николаев, И. В., Коробейщиков, Н. Г., & Лапега, А. В. (2024). Ионно-кластерная обработка поверхности монокристаллических кремния и германия. 10. Аннотация от 53-я международная Тулиновской конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, Российская Федерация.

Vancouver

Николаев ИВ, Коробейщиков НГ, Лапега АВ. Ионно-кластерная обработка поверхности монокристаллических кремния и германия. 2024. Аннотация от 53-я международная Тулиновской конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, Российская Федерация.

Author

Николаев, Иван Владимирович ; Коробейщиков, Николай Геннадьевич ; Лапега, Алина Витальевна. / Ионно-кластерная обработка поверхности монокристаллических кремния и германия. Аннотация от 53-я международная Тулиновской конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, Российская Федерация.1 стр.

BibTeX

@conference{7cacb76b4b174291ae06947de6c40478,
title = "Ионно-кластерная обработка поверхности монокристаллических кремния и германия",
author = "Николаев, {Иван Владимирович} and Коробейщиков, {Николай Геннадьевич} and Лапега, {Алина Витальевна}",
year = "2024",
month = may,
day = "28",
language = "русский",
pages = "10",
note = "53-я международная Тулиновской конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, МТК ; Conference date: 28-05-2024 Through 30-05-2024",
url = "http://tulinov.sinp.msu.ru/",

}

RIS

TY - CONF

T1 - Ионно-кластерная обработка поверхности монокристаллических кремния и германия

AU - Николаев, Иван Владимирович

AU - Коробейщиков, Николай Геннадьевич

AU - Лапега, Алина Витальевна

N1 - Conference code: 53

PY - 2024/5/28

Y1 - 2024/5/28

M3 - тезисы

SP - 10

T2 - 53-я международная Тулиновской конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами

Y2 - 28 May 2024 through 30 May 2024

ER -

ID: 61163241