Володин, В. А., Камаев, Г. Н., Антоненко, А. Х. & Кошелев, Д. И., 20 окт. 2014, IPC № G01N21/65, H01L21/66, Роспатент - Федеральная служба по интеллектуальной собственности, Патент/Св-во № 2531081, Дата приоритета 18 июл. 2013, № приоритета 2013133496
Результаты исследований: Патенты/Свидетельства о регистрации › патент на изобретение
