Standard

ВЛИЯНИЕ Al НА ШЕРОХОВАТОСТЬ Мо В БРЭГГОВСКОМ ОТРАЖАТЕЛЕ НА ОСНОВЕ ПАРЫ Al/Mo. / Богословцева, Алена Леонидовна; Гейдт, Павел Викторович.

2026. 297-298 Abstract from Радиофизика, фотоника и исследование свойств вещества 2026, Омск, Russian Federation.

Research output: Contribution to conference › Abstract

Harvard

Богословцева, АЛ & Гейдт, ПВ 2026, 'ВЛИЯНИЕ Al НА ШЕРОХОВАТОСТЬ Мо В БРЭГГОВСКОМ ОТРАЖАТЕЛЕ НА ОСНОВЕ ПАРЫ Al/Mo', Радиофизика, фотоника и исследование свойств вещества 2026, Омск, Russian Federation, 06.10.2026 - 08.10.2026 pp. 297-298.

APA

Богословцева, А. Л., & Гейдт, П. В. (2026). ВЛИЯНИЕ Al НА ШЕРОХОВАТОСТЬ Мо В БРЭГГОВСКОМ ОТРАЖАТЕЛЕ НА ОСНОВЕ ПАРЫ Al/Mo. 297-298. Abstract from Радиофизика, фотоника и исследование свойств вещества 2026, Омск, Russian Federation.

Vancouver

Богословцева АЛ, Гейдт ПВ. ВЛИЯНИЕ Al НА ШЕРОХОВАТОСТЬ Мо В БРЭГГОВСКОМ ОТРАЖАТЕЛЕ НА ОСНОВЕ ПАРЫ Al/Mo. 2026. Abstract from Радиофизика, фотоника и исследование свойств вещества 2026, Омск, Russian Federation.

Author

Богословцева, Алена Леонидовна ; Гейдт, Павел Викторович. / ВЛИЯНИЕ Al НА ШЕРОХОВАТОСТЬ Мо В БРЭГГОВСКОМ ОТРАЖАТЕЛЕ НА ОСНОВЕ ПАРЫ Al/Mo. Abstract from Радиофизика, фотоника и исследование свойств вещества 2026, Омск, Russian Federation.2 p.

BibTeX

@conference{94299c4096414542878b7a849ed06619,
title = "ВЛИЯНИЕ Al НА ШЕРОХОВАТОСТЬ Мо В БРЭГГОВСКОМ ОТРАЖАТЕЛЕ НА ОСНОВЕ ПАРЫ Al/Mo",
abstract = " Показано, что снижение температуры напыления при формировании слоя алюминия (Al) методом магнетронного распыления приводит к уменьшению шероховатости. Демонстрируется, что при использовании в брэгговском отражателе пары Мо/Al шероховатость верхнего слоя Мо с увеличением числа пар изменяется в пределах 8 нм. Такое значение параметра шероховатости позволяет получить пьезоэлектрический слой нитрида алюминия (AlN) с кристаллической структурой, пригодной для создания высокоэффективных акустических резонаторов. ",
author = "Богословцева, {Алена Леонидовна} and Гейдт, {Павел Викторович}",
note = " Богословцева А. Л., Гейдт П. В. Влияние Al на шероховатость Мо в брэгговском отражателе на основе пары Al/Mo // Радиофизика, фотоника и исследование свойств вещества : тезисы докладов IV Международной научной конференции (6–8 октября 2026 года, Омск, Россия). Омск : ОНИИП, 2026. ; Радиофизика, фотоника и исследование свойств вещества 2026 : РФИВ 2026, РФИВ 2026 ; Conference date: 06-10-2026 Through 08-10-2026",
year = "2026",
language = "русский",
pages = "297--298",
url = "https://oniip.ru/nauka/iv-mnk-rfiv-2026/",

}

RIS

TY - CONF

T1 - ВЛИЯНИЕ Al НА ШЕРОХОВАТОСТЬ Мо В БРЭГГОВСКОМ ОТРАЖАТЕЛЕ НА ОСНОВЕ ПАРЫ Al/Mo

AU - Богословцева, Алена Леонидовна

AU - Гейдт, Павел Викторович

N1 - Conference code: IV

PY - 2026

Y1 - 2026

N2 - Показано, что снижение температуры напыления при формировании слоя алюминия (Al) методом магнетронного распыления приводит к уменьшению шероховатости. Демонстрируется, что при использовании в брэгговском отражателе пары Мо/Al шероховатость верхнего слоя Мо с увеличением числа пар изменяется в пределах 8 нм. Такое значение параметра шероховатости позволяет получить пьезоэлектрический слой нитрида алюминия (AlN) с кристаллической структурой, пригодной для создания высокоэффективных акустических резонаторов.

AB - Показано, что снижение температуры напыления при формировании слоя алюминия (Al) методом магнетронного распыления приводит к уменьшению шероховатости. Демонстрируется, что при использовании в брэгговском отражателе пары Мо/Al шероховатость верхнего слоя Мо с увеличением числа пар изменяется в пределах 8 нм. Такое значение параметра шероховатости позволяет получить пьезоэлектрический слой нитрида алюминия (AlN) с кристаллической структурой, пригодной для создания высокоэффективных акустических резонаторов.

M3 - тезисы

SP - 297

EP - 298

T2 - Радиофизика, фотоника и исследование свойств вещества 2026

Y2 - 6 October 2026 through 8 October 2026

ER -

ID: 85124882