Standard

Формирование частиц Ge на поверхности ITO методами электронной и взрывной литографии. / Utkin, Dmitry; Шкляев, Александр Андреевич.

Формирование частиц Ge на поверхности ITO методами электронной и взрывной литографии. 2023. p. 162-163.

Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Research › peer-review

Harvard

Utkin, D & Шкляев, АА 2023, Формирование частиц Ge на поверхности ITO методами электронной и взрывной литографии. in Формирование частиц Ge на поверхности ITO методами электронной и взрывной литографии. pp. 162-163. <https://cebt23.iptm.ru/download/numbered/14.pdf>

APA

Utkin, D., & Шкляев, А. А. (2023). Формирование частиц Ge на поверхности ITO методами электронной и взрывной литографии. In Формирование частиц Ge на поверхности ITO методами электронной и взрывной литографии (pp. 162-163) https://cebt23.iptm.ru/download/numbered/14.pdf

Vancouver

Utkin D, Шкляев АА. Формирование частиц Ge на поверхности ITO методами электронной и взрывной литографии. In Формирование частиц Ge на поверхности ITO методами электронной и взрывной литографии. 2023. p. 162-163

Author

Utkin, Dmitry ; Шкляев, Александр Андреевич. / Формирование частиц Ge на поверхности ITO методами электронной и взрывной литографии. Формирование частиц Ge на поверхности ITO методами электронной и взрывной литографии. 2023. pp. 162-163

BibTeX

@inproceedings{725a346ab713449493a80e7658d2b9dd,
title = "Формирование частиц Ge на поверхности ITO методами электронной и взрывной литографии",
author = "Dmitry Utkin and Шкляев, {Александр Андреевич}",
year = "2023",
language = "русский",
pages = "162--163",
booktitle = "Формирование частиц Ge на поверхности ITO методами электронной и взрывной литографии",

}

RIS

TY - GEN

T1 - Формирование частиц Ge на поверхности ITO методами электронной и взрывной литографии

AU - Utkin, Dmitry

AU - Шкляев, Александр Андреевич

PY - 2023

Y1 - 2023

M3 - статья в сборнике материалов конференции

SP - 162

EP - 163

BT - Формирование частиц Ge на поверхности ITO методами электронной и взрывной литографии

ER -

ID: 59394907