Standard

Способ создания конусообразных Si частиц на поверхности кремния без использования процессов травления. / Utkin, Dmitry (Author); Шкляев, Александр Андреевич (Author).

Новосибирский государственный университет. Patent No.: 51. Dec 09, 2021.

Research output: Patent › Know-how registration

Harvard

Utkin, D & Шкляев, АА Dec. 09 2021, Способ создания конусообразных Si частиц на поверхности кремния без использования процессов травления, Patent No. 51.

APA

Utkin, D., & Шкляев, А. А. (2021). Способ создания конусообразных Si частиц на поверхности кремния без использования процессов травления. (Patent No. 51). Новосибирский государственный университет.

Vancouver

Utkin D, Шкляев АА, inventors. Способ создания конусообразных Si частиц на поверхности кремния без использования процессов травления. 51. 2021 Dec 9.

Author

Utkin, Dmitry (Author) ; Шкляев, Александр Андреевич (Author). / Способ создания конусообразных Si частиц на поверхности кремния без использования процессов травления. Новосибирский государственный университет. Patent No.: 51. Dec 09, 2021.

BibTeX

@misc{cf6c971395d54fdd85a8bdc50457c538,
title = "Способ создания конусообразных Si частиц на поверхности кремния без использования процессов травления",
keywords = "КРЕМНИЙ, АНТИОТРАЖАЮЩИЕ ПОКРЫТИЯ, ЧАСТИЦЫ, ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ, ЭФФУЗИОННОЕ ОСАЖДЕНИЕ",
author = "Dmitry Utkin and Шкляев, {Александр Андреевич}",
year = "2021",
month = dec,
day = "9",
language = "русский",
publisher = "Новосибирский государственный университет",
address = "Российская Федерация",
type = "Patent",
note = "51",

}

RIS

TY - PAT

T1 - Способ создания конусообразных Si частиц на поверхности кремния без использования процессов травления

AU - Utkin, Dmitry

AU - Шкляев, Александр Андреевич

PY - 2021/12/9

Y1 - 2021/12/9

KW - КРЕМНИЙ

KW - АНТИОТРАЖАЮЩИЕ ПОКРЫТИЯ

KW - ЧАСТИЦЫ

KW - ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ

KW - ЭФФУЗИОННОЕ ОСАЖДЕНИЕ

M3 - свидетельство о регистрации ноу-хау

M1 - 51

PB - Новосибирский государственный университет

ER -

ID: 34914098